SiO2薄膜热应力模拟计算
Journal of South China Normal University(Natural Science Edition)（2009）
Abstract
薄膜内应力严重影响薄膜在实际中的应用.该文采用有限元模型对SiO2薄膜热应力进行模拟计算,验证了模型的准确性.计算了薄膜热应力的大小和分布,分析了不同镀膜温度、不同膜厚和不同基底厚度生长环境下热应力的大小,得到了相应的变化趋势图, 对薄膜现实生长具有一定的指导意义.
MoreTranslated text
Key words
SiO2 thin film,finite element,thermal stress,simulation
AI Read Science
Must-Reading Tree
Example
Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined