基于Fabry-Perot腔阵列光谱传感器的集成化研究

提出了一种微型集成化光谱传感器,其结构包括不同腔长的Fabry-Perot腔阵列、光电探测器阵列、读出电路几部分。一个光谱探测单元包括一个Fabry-Perot腔和其下的光电探测器,各Fabry-Perot腔腔长的不同,可实现对不同波长的检测。该光谱传感器无可动部件,结构性能稳定,用CMOS工艺和MEMS工艺实现一体化集成,制作体积为mm量级。文章中将详细阐述该传感器的各部分结构设计和工艺实现等问题。