电子束单晶炉放电问题分析及解决办法

针对电子束区难熔金属单晶生长过程中出现的放电问题,分析了其原因,并采取了相应的措施,有效的解决了放电问题。通过对高压灯丝电源系统增加保护措施,防止了放电对电源部件的损坏。根据电子束悬浮区域熔炼法的特点对阳极与电子枪之间的短路现象增加了防护系统,有效的消除了短路带来的不利影响,为制备难熔金属单晶提供了保障条件。