基于电场分析的掩膜电解加工试验研究

摩擦副表面的微小凹坑阵列结构可以存储润滑油,能大幅度降低摩擦副表面的磨损。采用掩膜电解的方式加工大面积微坑结构,具有工具制作简单,工件无内应力等诸多优点。采用有限元法对加工间隙内的电场进行了仿真分析,研究了胶膜厚度对阳极表面电流密度分布的影响。试验中用光刻的方法在阳极表面制作了尺寸均匀的胶膜,胶膜孔径400μm。在此基础上进行电解加工微坑试验,优化了加工参数,提高了凹坑阵列的加工精度。获得了平均直径可达450μm左右、深度30μm的凹坑阵列,凹坑形状规则,一致性好。