AZO薄膜绒面制备方法研究进展ZHOU Jun, ZHANG Da-wei,HUANG Yuan-shen,NI Zheng-ji,ZHUANG Song-lin,j zhou, d zhang,y huang,z ni,s zhuangLaser Journal（2011）引用 0|浏览10暂无评分摘要综述了AZO透明导电薄膜绒面的间接制备方法,包括湿法腐蚀和干法刻蚀两种。对各种绒面制备方法进行了比较和总结,提出了掺铝氧化锌薄膜绒面制备工艺中需要解决的关键问题。更多查看译文关键词textured surface,solar cell,etching,AZO thin filmAI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
