递进式拟合方法对椭偏测量中薄膜参数精确度的研究
Journal of Qufu Normal University(Natural Science)（2010）
摘要
采用电子束蒸镀法制备SiO2及TiO2光学薄膜.利用法国产JobinYvonUVISEL相调制型椭圆偏振光谱仪作为测试手段,选用适当的色散公式建立物理模型,采用递进式拟合方法,对两种光学薄膜的光学常数及厚度进行了拟合,结果表明:该拟合方法使得衡量拟合结果的均方误差χ2越来越小,获得的薄膜的光学常数及厚度更准确.
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关键词
progressive fitting,film optics,optical constants,ellipsometry
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