可伐合金的可控氧化对封接质量的影响
Electronic Components and Materials（2011）
Abstract
研究了可伐合金表面氧化膜的类型和厚度对玻璃与可伐合金封接质量的影响.结果表明,氧化膜的类型和厚度直接影响金属与玻璃的封接质量.相对于工厂氧化条件,在可控条件下氧化的可伐合金与玻璃封接后的气密性一致性和可靠性较高.随着氧化膜厚度的增加,玻璃沿引线的爬坡高度逐渐增加,当控制氧化膜厚度不超过1.5μm时,爬坡高度都小于200μm;而结合强度先增加而后逐渐减小,最高结合强度可达到约66 N.当将氧化膜厚度控制在0.5～1.0μm,可以保证产品的封接质量较高.
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Key words
sealing,oxidation film,Kovar alloy,glass
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