不同摩擦偶件对单晶硅摩擦磨损行为影响的对比研究

对比研究Al2O3和玛瑙球对单晶硅摩擦磨损行为的影响。结果表明:单晶硅与Al2O3和玛瑙球对摩时,摩擦因数均随滑动速度的增加而降低,二者与单晶硅对摩时的摩擦因数相差很小;与Al2O3和玛瑙球对摩时,单晶硅的磨损体积损失均随滑动速度的增加而减小;在相同实验条件下,与Al2O3球对摩时;单晶硅的磨损体积损失明显大于与玛瑙球对摩时的。单晶硅与Al2O3和玛瑙球对摩的磨损机制基本相同:低速下以微断裂和塑性变形为主,高速下以较光滑表面为特征,即存在"速度效应"。相比于Al2O3与单晶硅对摩时,玛瑙与单晶硅对摩时的单晶硅磨损表面更光滑,主要与Al2O3、玛瑙及单晶硅的物理力学性能有关,尤其与材料的硬度有关。