诱导磁场对化学沉积Co-Ni-P薄膜磁性能的影响

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology(2012)

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Abstract
采用化学湿法沉积技术制备了CoNiP磁性薄膜,研究了施镀过程中的诱导磁场对CoNiP薄膜磁性能和结构的影响。研究结果表明,随着施加诱导场强度的增加,CoNiP薄膜的矫顽力先增加,然后减小;当磁场强度为1300 Oe时,薄膜的矫顽力达到了751.7 Oe,比未施加磁场时提高了约28%。X射线衍射结果表明,Co-N-i P薄膜晶粒沿磁场方向生长,其c轴沿薄膜的轴向形成了很强的Co(002)织构。扫描电子显微镜表面形貌观察表明,随着磁场强度的增加,胞状颗粒逐渐增多,晶粒尺寸变小,颗粒之间结合紧密。诱导磁场对CoNiP薄膜的磁性能有良好的促进作用,这为进一步开发高性能的磁电传感器奠定了一定基础。
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CoNiP films,Induced magnetic fields,Magnetic thin films,Wet chemical deposition
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