绝对编码光栅的相位细分
Journal of Optoelectronics.Laser(2010)
Abstract
针对位移精密测量中提高绝对编码光栅的分辨率,提出一种绝对编码的相位细分方法.由自然码或格雷码的多码道光栅组成编码光栅,其基元码道足高频率的罗奇光栅,解码采用傅里叶变换相位计算方法,通过傅里叶变换、空间频域滤波和逆傅里叶变换得到基元码道的相位分布,利用格雷码的级次信息得到展开的相位分布.利用相位分布的线性性质进行线性拟合,实现高分辨率的相位细分.分析了实验原理井进行了提高分辨率的相位细分实验研究,实验结果表明,采用相位细分的方法,经过标定后可大大提高绝对编码光栅的分辨率和测量精度.
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Key words
grating,absolute coding,phase subdivision
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