抛物面型X射线组合折射透镜聚焦性能的理论与实验研究

Zichun Le,Wen Dong,Liu Wei,Zhang Ming,Jingqiu Liang,Bisheng Quan,Kai Liu,Zhongzhu Liang,Zhu Peiping,Yi Futing,Wanxia Huang

Acta Physica Sinica（2010）

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摘要

结合衍射理论和矩阵光学方法得出抛物面型X射线组合折射透镜的光学性能指标(包括其焦距的严格表达式、薄透镜近似的判定准则、透过率和有效孔径,以及极限聚焦光斑尺寸等).采用X射线深度光刻技术实际制作了PMMA材料抛物面型X射线组合折射透镜并给出了工艺测试结果.最后在北京同步辐射装置(BSRF)上,实际构建了基于3种不同结构参数的PMMA材料抛物面型X射线组合折射透镜的微束聚焦实验系统.并实际测试了其聚焦性能,均获得了良好的聚焦效果,给出实测结果并对实测结果进行了分析和讨论.

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关键词

Compound X-ray refractive lens,Synchrontron radiation,X-ray focusing,X-ray optics

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