缠绕式射频磁控溅射聚(PET)表面沉积氧化硅(SiOx)薄膜的研究

Chinese Journal of Vacuum Science and Technology（2009）

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摘要

采用缠绕式射频磁控溅射方法在PET表面沉积SiOx薄膜.研究了制备工艺对薄膜组成、表面形貌、阻隔性能的影响.通过红外光谱(FITR)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)观察分析了射频功率、工作压强等参数对SiOx薄膜性能的影响,得到最佳工艺参数;通过透湿与透氧测试,2000W、0.7Pa得到SiOx薄膜对水蒸汽的阻隔性提高了约15倍,对氧气的阻隔性提高了25倍.

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关键词

The property of barrier,SiO_x film,Morphologies,RF magnetron sputtering,Infrared absorption spectroscopy

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