CIF格式转换为PG3600格式中任意多边形切割成矩形的算法研究(英文)

Chinese Journal of Electron Devices(2008)

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摘要
为了编制能够运行于Windows操作系统且又能够挂靠在L-EDIT数据格式转换软件,文章提出了微光刻图形CIF数据格式转换为PG3600数据格式的新的图形切割算法——沿边切割法,重点讨论任意多边形切割成矩形的具体算法,并与其它几种常见的切割算法进行比较,说明该算法对于不规则图形的切割具有明显的优越性,最后给出所编软件运行的实验结果。
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关键词
pattern division,PG3600 Format,CIF Format,division along the Sides,data format conversion
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