磁控溅射陶瓷薄膜(SiO_x)阻隔性机理的研究
Packaging Engineering（2008）
摘要
研究了磁控溅射镀陶瓷薄膜(SiOx)使PET基体阻隔性提高的机理,并对SiOx层的堆积结构做了假设及理论分析,结合SEM形貌表明:磁控溅射SiOx层存在层状结构及针孔随机分布,阻隔性的提高可由努森扩散和层流两种机理加以解释,即在一定的压力差下,阻隔性提高决定于针孔的分布、陶瓷层厚度以及SiOx层数。
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关键词
Knudsen diffusion,laminar flow,ceramic film,magnetron sputtering
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