基本信息
浏览量:76
职业迁徙
个人简介
长期专注于高端光刻机超精密工件台的研发,作为结构技术负责人主持了双工件台研发过程中每个关键技术节点的结构方案制定和结构设计工作。研究领域涉及双工件台系统设计、结构创新和关键技术研究。在关键技术方面,研究主要涉及气浮轴承分析与应用、动力学分析与优化、高性能驱动、激光干涉位移测量及核心制造工艺攻关。
研究兴趣
论文共 376 篇作者统计合作学者相似作者
按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选
时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
IEEE-ASME TRANSACTIONS ON MECHATRONICSno. 99 (2024): 1-11
SAE technical paper series (2023)
引用0浏览0引用
0
0
The International Journal of Advanced Manufacturing Technologyno. 3-4 (2023): 1453-1470
Lecture notes in mechanical engineeringpp.289-298, (2023)
引用0浏览0引用
0
0
Acta Optica Sinicano. 19 (2023)
Materials & Design (2023): 111945-111945
IEEE Sensors Journalno. 14 (2023): 15512-15522
引用0浏览0EIWOS引用
0
0
Optical Engineeringno. 03 (2023)
引用0浏览0引用
0
0
Sensorsno. 9 (2023): 4392-4392
引用0浏览0EIWOS引用
0
0
加载更多
作者统计
合作学者
合作机构
D-Core
- 合作者
- 学生
- 导师
数据免责声明
页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn