基本信息
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Bio
研究方向:
微电子工艺及装备
1990-1994年完成快速凝固高强铝锌合金,快速凝固中强低密度铝锂合金,快速凝固中强耐高温铝铁合金系列研究,为航空材料的应用提供了新的体系。首次提出复合型粉末高性能阻尼铝合金功能材料,XD金属基复合材料,为X型号机提供了大型零件。完成火箭推进剂用高纯球形铝粉中试生产线研制和推广工作,该项目获航空部科技进步三等奖。
1995-1998年在国内首次完成实用型磁阻式计算机硬盘读出头的研制,同时利用MEF观测到微细软磁磁畴的精细结构。
1998年至今,作为主要参加人完成超大规模集成电路关键工艺研究(0.25微米),高性能栅长27纳米CMOS器件及关键工艺技术研究,获北京市科学技术一等奖,国家发明二等奖。作为负责人完成国家自然基金重点项目“ULSI中铜互连技术研究”,为我国首次自主研究铜互连技术。完成国家973项目“磁性存储器研究”,现为“下一代高清晰度平板显示基础研究”的课题负责人,”特种功率器件”项目首席专家,自然基金重点项目”等离子体注入机” 负责人。
2002-2005年任两届国家自然基金委信息科学部专家,2002-2004年曾任国家973咨询专家组专家(已换届),中国电子学会半导体及集成技术分会副秘书长。
微电子工艺及装备
1990-1994年完成快速凝固高强铝锌合金,快速凝固中强低密度铝锂合金,快速凝固中强耐高温铝铁合金系列研究,为航空材料的应用提供了新的体系。首次提出复合型粉末高性能阻尼铝合金功能材料,XD金属基复合材料,为X型号机提供了大型零件。完成火箭推进剂用高纯球形铝粉中试生产线研制和推广工作,该项目获航空部科技进步三等奖。
1995-1998年在国内首次完成实用型磁阻式计算机硬盘读出头的研制,同时利用MEF观测到微细软磁磁畴的精细结构。
1998年至今,作为主要参加人完成超大规模集成电路关键工艺研究(0.25微米),高性能栅长27纳米CMOS器件及关键工艺技术研究,获北京市科学技术一等奖,国家发明二等奖。作为负责人完成国家自然基金重点项目“ULSI中铜互连技术研究”,为我国首次自主研究铜互连技术。完成国家973项目“磁性存储器研究”,现为“下一代高清晰度平板显示基础研究”的课题负责人,”特种功率器件”项目首席专家,自然基金重点项目”等离子体注入机” 负责人。
2002-2005年任两届国家自然基金委信息科学部专家,2002-2004年曾任国家973咨询专家组专家(已换届),中国电子学会半导体及集成技术分会副秘书长。
Research Interests
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合作机构
Ceramics Internationalno. 3 (2024): 5541-5551
LASER & PHOTONICS REVIEWS (2023)
ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACESno. 48 (2023): 55957-55964
Tan Mingsheng,Ming Shuaiqiang, Wu Yufei,Lu Weier,Li Yanli,Kong Xiangdong,Liu Haigang,Xia Yang,Han Li
ACTA OPTICA SINICAno. 11 (2023)
Vacuum (2023): 111776-111776
Yumeng Zhang,Zhejia Wang,Jiaheng Feng,Shuaiqiang Ming,Furong Qu,Yang Xia, Meng He, Zhimin Hu, Jing Wang
Journal of Semiconductorsno. 10 (2022): 102002-102002
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