基本信息
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职业迁徙
个人简介
严伟,男,1977年2月生,研究员,博士生导师,四川省杰青,国家科技专家库专家,西部之光联合学者,首届青促会会员,中国科学院光电所青年创新人才。主要研究集中于微电子装备研制,以及相关微纳光学、光学测量的关键技术研究工作。
近5年承担的科研任务包括:作为总师完成国家科技重大专项课题“下一代193nm光子筛聚焦无掩模光刻关键技术”;主持国家自然科学基金面上项目、中国科学院国防科技创新基金项目、四川省杰青基金、西部之光项目、院装备项目等科研任务。获中国半导体行业协会半导体创新产品和技术奖1项、四川省科技进步二等奖和三等奖各1项、中国烟草总公司科学技术发明奖三等奖1项。发表科技论文40余篇(第1作者10篇),发明专利16项,软件版权2项(第一申请人8项,授权发明专利11项),培养研究生15名(独立执导硕士3名,博士6名)。
近5年承担的科研任务包括:作为总师完成国家科技重大专项课题“下一代193nm光子筛聚焦无掩模光刻关键技术”;主持国家自然科学基金面上项目、中国科学院国防科技创新基金项目、四川省杰青基金、西部之光项目、院装备项目等科研任务。获中国半导体行业协会半导体创新产品和技术奖1项、四川省科技进步二等奖和三等奖各1项、中国烟草总公司科学技术发明奖三等奖1项。发表科技论文40余篇(第1作者10篇),发明专利16项,软件版权2项(第一申请人8项,授权发明专利11项),培养研究生15名(独立执导硕士3名,博士6名)。
研究兴趣
论文共 360 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
ACTA METALLURGICA SINICAno. 1 (2024): 43-56
Yuwen Xu,Shijing Xie,Jie Qiu,Cunfeng Yao,Wei Yan,Yanfen Li, Chongdou Yang,Shaoqiang Guo,Long Gu,Di Yun
NANOMATERIALSno. 9 (2024): 798
ISIJ INTERNATIONALno. 6 (2024): 1047-1056
SCRIPTA MATERIALIA (2024): 116061
Optics and Lasers in Engineering (2024): 108386
Journal of Iron and Steel Research Internationalpp.1-13, (2024)
MATERIALS CHARACTERIZATION (2024): 113587
Xinlei Zhou,Chunni Jia, Peng Mi,Honglin Zhang,Wei Yan,Wei Wang,Mingyue Sun,Sybrand van der Zwaag,Lijian Rong
Journal of Materials Science & Technology (2024)
Corrosion Science (2024): 112029
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合作机构
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- 学生
- 导师
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