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Sub-60 Mv/dec Germanium Nanowire Field-Effect Transistors with 2-Nm-thick Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2
Y-W Lin, T-Y Yu,C-J Su, Y-N Chen,H-H Chang,G-L Luo,C-T Wu,W-F Wu,K-L Lin,F-J Hou,Y-C Wu,W-K Yeh
2021 INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON VLSI TECHNOLOGY, SYSTEMS AND APPLICATIONS (VLSI-TSA) (2021)
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