基本信息
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个人简介
2005.08-2006.08: 英国卢瑟福国家实验室 访问学者
2005.12-2010.12: 合肥工业大学机械与汽车工程学院副教授
2010.12至今 合肥工业大学机械与汽车工程学院教授
(2016.09-2017.09: 美国密歇根大学安娜堡分校 访问学者)
研究方向
1、微纳制造技术与应用:面向信息、显示和新能源器件应用,研究大面积微纳结构复制转移的关键理论、技术及其方法。
2、真空检测与计量技术:纳流控通道等新型超高真空计 量器具的可控制作技术及其表征、压强动态测试新原理、漏率测试方法及其系统等
2005.12-2010.12: 合肥工业大学机械与汽车工程学院副教授
2010.12至今 合肥工业大学机械与汽车工程学院教授
(2016.09-2017.09: 美国密歇根大学安娜堡分校 访问学者)
研究方向
1、微纳制造技术与应用:面向信息、显示和新能源器件应用,研究大面积微纳结构复制转移的关键理论、技术及其方法。
2、真空检测与计量技术:纳流控通道等新型超高真空计 量器具的可控制作技术及其表征、压强动态测试新原理、漏率测试方法及其系统等
研究兴趣
论文共 63 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
引用量
主题
期刊级别
合作者
合作机构
MATERIALS TODAY COMMUNICATIONS (2024): 108923
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Bno. 4 (2024)
Vacuumpp.113171, (2024)
Vacuum (2024): 112853
Chinese Journal of Vacuum Science and Technologyno. 10 (2023)
Measurement (2023): 113701
Microelectronic Engineering (2023)
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作者统计
合作学者
合作机构
D-Core
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