基本信息
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个人简介
主要从事高纯金属材料变形加工、贵金属的冶金提纯、微电子、光电子材料加工、集成电路靶材制造研究,先后主持国家重大科研项目20余项,包括:①2009年国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”子项目,超高纯大尺寸铜原料制备及300mm硅片用靶材制造技术研究与开发;②2009年国家发展与改革委员会建设项目,半导体用超高纯金属靶材;③2011年国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”子项目,45-28nm配线用Cu靶材研发与产业化;④2012年国家发展与改革委员会稀有稀土专项,高代线平面显示及先进封装用大尺寸靶材研发和产业化;⑤2009年北京市经信委,大规模集成电路布线用超高纯铝合金靶材产业化;⑥2017年国家重点研发计划项目,大规格稀有/稀贵金属靶材制造技术;目前主持“新一代信息技术用大尺寸高纯稀土金属靶材”工信部强基工程项目、“极大规模集成电路芯片用高纯金属靶材”等项目。
发表论文20余篇,授权专利48项,部级一等奖2项、二等奖1项、三等奖1项,制定国家标准10余项。
发表论文20余篇,授权专利48项,部级一等奖2项、二等奖1项、三等奖1项,制定国家标准10余项。
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RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERINGno. 7 (2018): 2269-2274
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作者统计
#Papers: 39
#Citation: 190
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Sociability: 5
Diversity: 2
Activity: 3
合作学者
合作机构
D-Core
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