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CLOSED-LOOP CONTROL FOR IMPROVED POLISHING PAD PROFILES
Sivakumar Dhandapani,Jun Qian, Christopher D Cocca, Jason Garcheung Fung,Shousung Chang, Charles C Garretson, Gregory E Menk,Stan D Tsai
mag（2011）
引用30浏览0引用
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CLOSED-LOOP CONTROL FOR EFFECTIVE PAD CONDITIONING
Sivakumar Dhandapani,Stan D Tsai, Daxin Mao,Sameer Deshpande,Shousung Chang, Gregory E Menk, Charles C Garretson, Jason Garcheung Fung, Christopher D Cocca,Hung Chih Chen
mag（2009）
引用30浏览0引用
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DETECTION OF CLEARANCE OF POLYSILICON RESIDUE
Jeffrey Drue David,Jun Qian, Garrett Sin, Daxin Mao, Chris Heunggyun Lee,Sivakumar Dhandapani, Boguslaw A Swedek,Dominic J Benvegnu,Lakshmanan Karuppiah
mag（2008）
引用23浏览0引用
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