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H. Jagannathan,B. Anderson,C-W Sohn,G. Tsutsui, J. Strane,R. Xie,S. Fan,K- Kim,S. Song, S. Sieg,I Seshadri,S. Mochizuki,
2021 IEEE INTERNATIONAL ELECTRON DEVICES MEETING (IEDM)pp.26.1.1-26.1.4, (2021)
OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXXIII (2021)
mag(2008)
引用23浏览0引用
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S. Johnson, R. Burns,E. K. Kim,M. Dickey, G. Schmid, J. Meiring,S. Burns,C. G. Willson,D. Convey,Y. Wei,P. Fejes,K. Gehoski,
ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY (2004): U516-U516
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