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Microelectronic Engineeringno. 1 (2012): 38-41
ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE 2004 (AMC 2004)pp.801-805, (2004)
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WFA Besling, D Galpin,M Mellier, L Svedberg, T Mandrekar, F Wu,S Guggilla,S Van, ML Ignacimouttou,J Torres
ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE 2003 (AMC 2003)pp.737-743, (2004)
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Microelectronic Engineeringno. 2-4 (2003): 358-362
Pan, J., Woo, C.,Chih-Yuh Yang,Bhandary, U.,S. Guggilla, N. Krishna,Hua Chung, A. Hui,Bin Yu,Qi Xiang,Ming-Ren Lin
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