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In-situ deposition of film stacks
Jason Haverkamp,Pramod Subramonium, Joseph L Womack,Dong Niu, Keith Fox, John Alexy, Patrick Breiling, Jennifer Oloughlin,Mandyam Sriram,G A Antonelli,Bart Van Schravendijk
mag（2015）
引用49浏览0引用
49
0
HIGH SELECTIVITY AND LOW STRESS CARBON HARDMASK BY PULSED LOW FREQUENCY RF POWER
Sirish Reddy, Chunhai Ji, Xinyi Chen,Pramod Subramonium
mag（2015）
引用23浏览0引用
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0
METHOD AND APPARATUS FOR PURGING AND PLASMA SUPPRESSION IN A PROCESS CHAMBER
Patrick Breiling, Kevin Gerber, Jennifer Oloughlin,Nagraj Shankar,Pramod Subramonium
mag（2014）
引用23浏览0引用
23
0
METHODS AND APPARATUS FOR PLASMA-BASED DEPOSITION
Pramod Subramonium,Aaron Bingham, Tim Thomas,Jon Henri, Greg Farhner
mag（2014）
引用29浏览0引用
29
0
Selective Capping of Metal Interconnect Lines during Air Gap Formation
Kaushik Chattopadhyay,G A Antonelli,Pramod Subramonium, Mandyam Sriram,Tighe A Spurlin
mag（2013）
引用25浏览0引用
25
0
INCREASING ETCH SELECTIVITY OF CARBON FILMS WITH LOWER ABSORPTION CO-EFFICIENT AND STRESS
Sirish Reddy,Alice Hollister,Pramod Subramonium, Jon Henri, Chunhai Ji, Zhi Yuan Fang
mag（2012）
引用23浏览0引用
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