基本信息
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个人简介
多年来一直围绕微纳传感器制造、封装测试、等离子体微纳结构制造等方向展开工作。研究内容包括高性能微纳器件面键合与线键合封装工艺与装备,液中/大气下等离子体界表面改性与微纳结构制造。基于空气中等离子体活化技术提出高性能微纳器件封装方法,解决了普通环境下的低温键合工艺方法;针对高密度集成封装的应用需求,基于机器视觉技术与自动控制技术融合提出了三维引线键合工艺解决方案在多家单位获得实际应用;基于液中等离子体改性提出气敏材料表面的微纳结构调控方法,开发新的气敏材料制造方法。获得教育部科技进步二等奖1项,先后主持和参与国家“863”计划项目3项,国家重大仪器专项1项,国家自然科学基金项目6项,国防预研基金项目1项,江苏省产学研项目1项。
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Journal of Physics Conference Series (2020)
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