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Daniel A Tichenor,Glenn D Kubiak,Steven J Haney,Rodney P Nissen,K Berger, Richard W Arling,A K Raychaudhuri,Khanh B Nguyen,R H Stulen,John B Wronosky, J D Jordan, Tony G Smith,
ELECTRON-BEAM, X-RAY, EUV, AND ION-BEAM SUBMICROMETER LITHOGRAPHIES FOR MANUFACTURING V (1995): 292-307
Gary N Taylor,Richard S Hutton,Susan M Stein, Craig H Boyce,O R Wood,Bruno Lafontaine,Alastair A Macdowell,David R Wheeler,Glenn D Kubiak,A K Raychaudhuri,K Berger,Daniel A Tichenor
ELECTRON-BEAM, X-RAY, EUV, AND ION-BEAM SUBMICROMETER LITHOGRAPHIES FOR MANUFACTURING V (1995): 308-330
G.N. Taylor,R.S. Hutton, S.M. Stein,C.H. Boyce,B. La Fontaine,A.A. MacDowell,O.R. Wood, D.R. Wheeler,G.D. Kubiak
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