Michael MengYangtze Memory Technol Co Ltd关注立即认领分享关注立即认领分享基本信息浏览量:0职业迁徙个人简介暂无内容研究兴趣论文共 2 篇作者统计合作学者相似作者按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选时间引用量主题期刊级别合作者合作机构Machine learning and hybrid metrology using HV-SEM and optical methods to monitor channel hole tilting in-line for 3D NAND wafer productionMichael Meng, Leeming Tu,Jian Mi, Haydn Zhou,Xi ZouMETROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY XXXIV (2020)引用2浏览0引用20The Adoption of Machine Learning in the Measurement of Copper Contact on the Main Chip in Advanced 3D NAND Technology NodesMichael Meng,Albert Li, Andrew Zhang, Leeming Tu, Haydn Zhou,Jian Mi,Xi Zou2020 31st Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC)(2020)引用2浏览0EIWOS引用20作者统计合作学者合作机构D-Core合作者学生导师暂无相似学者,你可以通过学者研究领域进行搜索筛选数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn