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Novel Patterning Technologies 2024 (2024)
Richard van Haren, Suwen Li,Blandine Minghetti,Leon van Dijk, Klaas Brantjes,Frank Fournel,Gaelle Mauguen,Ivanie Mendes,Celine Lapeyre, Marie-Line Pourteau,Michael May,Laurent Pain,
METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL XXXVII (2023)
Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrologyno. 04 (2023)
OPTICAL AND EUV NANOLITHOGRAPHY XXXV (2022)
Nathalie Frolet, Emma Porcheron,Karine Jullian,Michael May,Yuji Tanaka,Masahiko Harumoto,Raluca Tiron
Advances in Patterning Materials and Processes XXXIX (2022)
Jorge P. Nacenta Mendivil,Nathalie Frolet,Karine Jullian,Michael May,Yuji Tanaka, Alexis Royer,Masahiko Harumoto,Raluca Tiron
Michael May,Blandine Minghetti,Jerome Depre,Yoann Blancquaert, Pui Lam,Celine Lapeyre, Joungchel Lee
METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY XXXIV (2020)
34TH EUROPEAN MASK AND LITHOGRAPHY CONFERENCE (2018)
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