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Very Low Temperature Tensile and Selective Si:P Epitaxy for Advanced CMOS Devices
Joël Kanyandekwe,Matthias Bauer,Tanguy Marion, Lazhar Saidi, Jean-Baptiste Pin, Jeremie Bisserier,Jérôme Richy,Nicolas Gauthier,Pattamon Dezest,Laurent Brunet, Valérie Lapras, Tristan Dewolf,
ECS Transactionsno. 32 (2022): 1190-1190
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Thermal budget reduction for spike anneals in conventional RTP
S. Hamm,M. Bauer, C. Pfahler, R. Bremensdorfer, D. Hezler, A. Wansidler
MRS ADVANCES（2022）
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Metrology And Inspection: Challenges And Solutions For Emerging Technology Nodes
Arun R. Srivatsa, Jingmin Leng, Navneet Singh, Yi Ding, Roman Mostovoy, Xiaodong Zhang,Matthias Bauer,Jothilingam Ramalingam, Prashanth Kulshrestha, Timothy Thao
2020 IEEE ELECTRON DEVICES TECHNOLOGY AND MANUFACTURING CONFERENCE (EDTM 2020)（2020）
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