Yichen Lu(路一辰)关注立即认领分享关注立即认领分享基本信息浏览量:0职业迁徙个人简介暂无内容研究兴趣论文共 4 篇作者统计合作学者相似作者按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选时间引用量主题期刊级别合作者合作机构半导体硅材料CMP三维有限元分析 王新,周旗钢,路一辰,宁永铎, 郑宇, 王永涛Chinese Journal of Rare Metalsno. 9 (2023)引用0浏览0引用00掺杂剂不同的重掺硅片的抛光特性 周莹莹,张果虎,周旗钢,史训达,林霖,路一辰稀有金属(2021)引用0浏览0引用00硅晶圆的晶向偏离度测定方法探索 郑捷,曹孜,赵而敬,蔡丽艳,安瑞阳,苏冰,何宇,路一辰产业与科技论坛(2019)引用0浏览0引用00化学腐蚀对半导体硅片抛光后局部平整度的影响钟耕杭,宁永铎,王新,路一辰,周旗钢,李耀东稀有金属(2018)引用3浏览0引用30作者统计合作学者合作机构D-Core合作者学生导师暂无相似学者,你可以通过学者研究领域进行搜索筛选数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn