基本信息
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个人简介
刘珠明博士留英期间,主攻近场纳米光刻系统研制,微系统集成和微能源方向,成功研制了国际首台基于扫描探针显微技术和近场光学的并行纳米光刻系统。回国后主持承担国家重点研发计划之重大科学仪器设备开发、中科院科研装备研制等多项课题。已在Nano letters, Appl. Phys. Lett. Solar Energy Materials and Solar Cells等国内外刊物和国际会议上发表学术论文30余篇,申请专利9项。
2019年12月全职加盟省半导体院,担任半导体材料与器件热表征和可靠性学科方向带头人。主要从事半导体器件温度测量,动态热管理,微尺度传热,微光刻等共性关键技术研究和应用。
2019年12月全职加盟省半导体院,担任半导体材料与器件热表征和可靠性学科方向带头人。主要从事半导体器件温度测量,动态热管理,微尺度传热,微光刻等共性关键技术研究和应用。
研究兴趣
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Bno. 6 (2023)
Infrared Physics & Technology (2022): 104500-104500
SOLAR ENERGY MATERIALS AND SOLAR CELLS (2022): 111986-111986
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