koji inukaiFine Elect Res Labs JSR Corp关注立即认领分享关注立即认领分享基本信息浏览量:0职业迁徙个人简介暂无内容研究兴趣论文共 4 篇作者统计合作学者相似作者按年份排序按引用量排序主题筛选期刊级别筛选合作者筛选合作机构筛选时间引用量主题期刊级别合作者合作机构Novel EUV Resists Materials for 16nm HP and beyondMotohiro Shiratani,Tomohisa Fujisawa,Koji Inukai, Kaori Sakai,Ken Maruyama,Kenji Hoshiko,Ramakrishnan Ayothi,Andreia Santos,Takehiko Naruoka,T NagaiJournal of Photopolymer Science and Technology(2014)引用5浏览0引用50METHOD FOR FORMING RESIST PATTERN AND COMPOSITION FOR FORMING PROTECTIVE FILMKen Maruyama,Koji Inukaimag(2013)引用24浏览0引用240Novel Euv Resist Materials And Process For 20 Nm Half Pitch And BeyondKoji Inukai,Ken Maruyama,Takanori Kawakami, Ayothia Ramkrichnan,Yoshi Hishiro,Tooru KimuraJOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY(2013)引用16浏览0引用160Effects of out-of-band radiation on EUV resist performanceKoji Inukai,Shalini Sharma,Hiroki Nakagawa,Makoto Shimizu,Tooru KimuraProceedings of SPIE(2012)引用8浏览0引用80作者统计合作学者合作机构D-Core合作者学生导师暂无相似学者,你可以通过学者研究领域进行搜索筛选数据免责声明页面数据均来自互联网公开来源、合作出版商和通过AI技术自动分析结果,我们不对页面数据的有效性、准确性、正确性、可靠性、完整性和及时性做出任何承诺和保证。若有疑问,可以通过电子邮件方式联系我们:report@aminer.cn