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The Effect of Material and Process Interactions on Cu/ULK BEOL Integration
Terry A. Spooner,John C. Arnold,Donald Canaperi,James Chen, Shyng-Tsong Chen,Stephen M. Gates, Atsunobu Isobayashi, Pak Leung,Satyavolu S. Papa Rao, Muthumanickam Sankarapandian, Hosadurga Shobha,O. Van der Straten
ECS Meeting Abstractsno. 31 (2009): 2374-2374
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The Effect Of Material And Process Interactions On Beol Integration
T. A. Spooner,J. C. Arnold,D. Canaperi, H. -C. Chen, S. -T. Chen,S. M. Gates, A. Isobayashi, P. Leung,S. S. Papa Rao, M. Sankarapandian, H. Shobha,O. Van Der Straten
ECS Transactionsno. 7 (2009): 279-289
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