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Wp Ballard,Da Tichenor, Dj O'Connell, Lj Bernardez,Re Lafon, Rj Anderson,Ah Leung, K Williams,Sj Haney,Y Perras,Kl Jefferson, Tl Porter,
EMERGING LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES VII, PTS 1 AND 2 (2003): 47-57
S H Lee,Daniel A Tichenor,William P Ballard, Luis J Bernardez,J E M Goldsmith,Steven J Haney,Karen L Jefferson,Terry A Johnson,Alvin H Leung, D Oconnell,William C Replogle,John B Wronosky,
PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE) (2002): 266-276
PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE) (2002): 72-86
J E M Goldsmith, P K Barr,K Berger, Luis J Bernardez,Gregory F Cardinale, Joel R Darnold, Daniel R Folk,Steven J Haney,Craig C Henderson,Karen J Jefferson,Kevin D Krenz,Glenn D Kubiak,
EMERGING LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES II (1998): 11-19
mag(1996)
引用24浏览0引用
24
0
mag(1995)
引用24浏览0引用
24
0
Daniel A Tichenor,Glenn D Kubiak,Steven J Haney,Rodney P Nissen,K Berger, Richard W Arling,A K Raychaudhuri,Khanh B Nguyen,R H Stulen,John B Wronosky, J D Jordan, Tony G Smith,
ELECTRON-BEAM, X-RAY, EUV, AND ION-BEAM SUBMICROMETER LITHOGRAPHIES FOR MANUFACTURING V (1995): 292-307
mag(1995)
引用24浏览0引用
24
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