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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICSno. 12 (2017)
ECS Transactionsno. 10 (2016): 95-103
Harumichi Higashi,Kazuo Kasahara, Kanae Kudo, H Okamoto,K Moto,J H Park, S Yamada,Takeshi Kanashima,Masanobu Miyao,Isao Tsunoda,Kohei Hamaya
Symposium on ULSI Process Integration 9 - 228th ECS Meetingno. 10 (2015): 21-27
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