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Microelectronic Engineeringno. 4-9 (2006): 754-761
Steven E Steen,Sharee J Mcnab,Lidija Sekaric,Inna V Babich, J G Patel,J J Bucchignano,Michael J Rooks,David M Fried,Anna W Topol, J Brancaccio, Rong Yu,J M Hergenrother,
Proceedings of SPIE (2005): 26-34
PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE) (2002): 36-51
mag(2000)
引用23浏览0引用
23
0
EMERGING LITHOGRAPHIC TECHNOLOGIES II (1998): 349-358
Inna V Babich, Timothy J Chainer,Emanuel I Cooper, Saumya Hegde, Wilma Jean Horkans,Christopher V Jahnes,S Krongelb,Keith T Kwietniak,Nancy C Labianca, E J M Osullivan,Lubomyr T Romankiw,J A Tornello,
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