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Impact of Hydrogen Plasma on Electrical Properties and Deep Trap Spectra in Ga2O3 Polymorphs
Alexander Y. Polyakov,Eugene B. Yakimov,Vladimir I. Nikolaev,Alexei I. Pechnikov, Andrej V. Miakonkikh, Alexander Azarov,In-Hwan Lee,Anton A. Vasilev, Anastasiia I. Kochkova,Ivan V. Shchemerov, Andrej Kuznetsov, Stephen J. Pearton
CRYSTALSno. 9 (2023)
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Conducting surface layers formed by hydrogenation of O-implanted β-Ga2O3
A. Y. Polyakov, A. A. Vasilev, I. Shchemerov, А. В. Черных, Igor Shetinin, E.V. Zhevnerov, А. I. Kochkova, П. Б. Лагов, Andrey V. Miakonkikh, Yu. S. Pavlov, U. A. Kobets,In−Hwan Lee,
SSRN Electronic Journal (2023): 169258-169258
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Transport and trap states in proton irradiated ultra-thick κ-Ga2O3
A. Y. Polyakov,В. И. Николаев, A. I. Pechnikov, E. B. Yakimov, П. Б. Лагов, I. Shchemerov, A. A. Vasilev, А. I. Kochkova, А. В. Черных,In−Hwan Lee, S. J. Pearton
Journal of vacuum science & technologyno. 3 (2023)
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Transport and trap states in proton irradiated ultra-thick kappa-Ga2O3
A. Y. Polyakov,V. I. Nikolaev, A. I. Pechnikov, E. B. Yakimov, P. B. Lagov, I. V. Shchemerov, A. A. Vasilev, A. I. Kochkova, A. V. Chernykh,In-Hwan Lee,S. J. Pearton
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A（2023）
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