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Growth and Characterization of SiGe/Si Superlattice for Vertically Stacked DRAM
Hailing Wang, Xiangsheng Wang,Yanpeng Song, Xiaomeng Liu, Ying Zhang, Xinyou Liu,Guilei Wang,Chao Zhao
Journal of Materials Science Materials in Electronicsno. 2 (2025): 1-11
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Application of Atomic Force Microscopy Technology in Doping Characterization of Semiconductor Materials and Devices
Xiaomeng Liu,Xiangsheng Wang, Xinyou Liu,Yanpeng Song, Yiwen Zhang,Hailing Wang, Ying Zhang,Guilei Wang,Chao Zhao
Microelectronic Engineeringno. C (2025)
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