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George G Barclay, Robert G Heumann, Rutter W Edward, Jungkuang R Chen,Margaret C Lawson,George M Jordhamo, Timothy M Hughes,Wayne M Moreau, Ann M Mewherter
mag(2003)
引用23浏览0引用
23
0
P. Rao Varanasi,Robert D. Allen,Hiroshi Ito,Thomas I. Wallow,H. D. Truong,Rex Chen,Peggy Lawson, Wai-kin Li, B. Brunsvold,George M. Jordhamo, Ranee Wai-Ling Kwong, Toru Kajita,
ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XVII, PTS 1 AND 2 (2000): 136-146
ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XVII, PTS 1 AND 2 (2000): 2-12
mag(1999)
引用68浏览0引用
68
0
Proceedings of SPIE (1997)
ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XIV (1997): 596-607
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