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Akihide Shirotori, Yuji Oda, Rui Zhang, Kazunori Taguchi, Nobuhiro Sato, SinFu Yeh,Hyo Seon Suh,Danilo De Simone,Geert Vandenberghe, Hideaki Sanuki
Advances in Patterning Materials and Processes XLI (2024)
International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2021 (2021)
Seiji Nagahara, Dinh Cong Que, Kazuo Yoshida, Gosuke Shiraishi,Yoshihiro Kondo,Kosuke Yoshihara, Kathleen Nafus, S Petersen John, De Simone Danilo,Philippe Foubert,Geert Vandenberghe, Stock Hans-Juergen,
Proceedings of SPIE (2020)
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Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography X (2019): 156-161
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