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Jerry Z Guo,Anthony E Novembre,Herschel M Marchman, Joseph Abate,J Frackoviak,David N Tomes,Allen G Timko,G K Celler
ELECTRON-BEAM, X-RAY, EUV, AND ION-BEAM SUBMICROMETER LITHOGRAPHIES FOR MANUFACTURING V (1995): 86-93
ELECTRON-BEAM, X-RAY, EUV, AND ION-BEAM SUBMICROMETER LITHOGRAPHIES FOR MANUFACTURING V (1995): 126-133
Jerry Z. Y. Guo,Anthony E. Novembre, Herschel Maclyn Marchman, Joseph A. Abate,J. Frackoviak,David N. Tomes,Allen G. Timko,George K. Celler
Electron-Beam, X-Ray, EUV, and Ion-Beam Submicrometer Lithographies for Manufacturing V (1995): 86-93
ELECTRON-BEAM, X-RAY, AND ION-BEAM SUBMICROMETER LITHOGRAPHIES FOR MANUFACTURING II (1992): 312-316
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