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EXTREME ULTRAVIOLET (EUV) LITHOGRAPHY XIno. 11323 (2020)
Rik Jonckheere,Chien-Ching Wu, Veronique de Rooij-Lohmann, Dorus Elstgeest,Henk A. Lensen,Philipp Hönicke,Michael Kolbe,Victor Soltwisch,Claudia Zech,Frank Scholze,Remko Aubert,Vineet Vijayakrishnan Nair,
Extreme Ultraviolet Lithography 2020 (2020): 78-90
Proceedings of SPIE (2019)
Chien-Ching Wu,Markus Bender,Rik Jonckheere,Frank Scholze, Herman Bekman,Michel Van Putten,Rory De Zanger,Rob Ebeling,Jeroen Westerhout, Kyri Nicolai,Jacqueline Van Veldhoven, Veronique De Rooij-Lohmann,
XXVI SYMPOSIUM ON PHOTOMASK AND NEXT-GENERATION LITHOGRAPHY MASK TECHNOLOGY (PHOTOMASK JAPAN 2019) (2019)
Herman Bekman, Michael Dekker,Rob Ebeling,Jochem Janssen,Norbert Koster, Joop Meijlink,Freek Molkenboer, Kyri Nicolai,Michel Van Putten,Corne Rijnsent,Arnold Storm,Jetske Stortelder,
INTERNATIONAL CONFERENCE ON EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY 2019 (2019)
Chien-Ching Wu,Edwin te Sligte, Herman Bekman,Arnold J. Storm,Michel van Putten, Maurice P. M. A. Limpens,Jacqueline van Veldhoven,Alex Deutz
Proceedings of SPIE (2018)
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