基本信息
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职业迁徙
个人简介
主持国家自然基金青年,中国博士后基金(一等资助),机械结构强度与振动国家重点实验室开放课题各1项。参加科技部ITER计划专项2项,国家自然基金重点和面上项目5项,负责等离子体放电及其应用方面研究。已公开发表SCI论文五十余篇,获授权发明专利十多项。担任十余个国际知名刊物的特邀审稿人。多次参加等离子体相关的国际和全国会议的邀请报告。
主要研究方向
1)射频等离子体放电技术,包含射频匹配、射频功率测量、天线设计,等离子体源技术,包含螺旋波等离子体源、ECR、ICP、CCP等;
2)等离子体诊断:静电探针,磁探针,磁绝缘折流探针、发射探针、减速场能量分析仪、发射光谱,质谱能谱,激光诱导荧光光谱;
3)低温等离子体与材料相互作用(高分子及金属异形件表面改性),离子束材料表面改性,功能薄膜材料制备及其表征,等离子体废气,废水及固废处理,二次电子发射。
主要研究方向
1)射频等离子体放电技术,包含射频匹配、射频功率测量、天线设计,等离子体源技术,包含螺旋波等离子体源、ECR、ICP、CCP等;
2)等离子体诊断:静电探针,磁探针,磁绝缘折流探针、发射探针、减速场能量分析仪、发射光谱,质谱能谱,激光诱导荧光光谱;
3)低温等离子体与材料相互作用(高分子及金属异形件表面改性),离子束材料表面改性,功能薄膜材料制备及其表征,等离子体废气,废水及固废处理,二次电子发射。
研究兴趣
论文共 69 篇作者统计合作学者相似作者
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时间
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主题
期刊级别
合作者
合作机构
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0
Materialsno. 6214 (2023): 6214-6214
引用0浏览0WOS引用
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0
Social Science Research Network (2022): 121674
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