研究领域：
微传感技术及微光机电系统(MOEMS)
承担科研项目情况：
自1992年硕士研究生毕业后到中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室工作至今，一直从事MEMS微传感器的设计、制作、封装及测试的研究工作。先后承担国家重点基础研究发展规划项目973项目、自然科学重点基金项目和面上项目、863项目、中科院及所创新项目等课题的研究工作。作为课题负责人，先后负责微结构半导体热偶型微波功率传感器、光寻址电位传感器、微型硅谐振梁式压力传感器、硅微气流传感器、硅微加速度计及微机械陀螺等传感器及其系统的研究工作。研制出国内首只高精度硅谐振梁压力传感器的试样器件。研制的抗高过载冲击的微机械加速度计量程。
2000年荣获中国科学院盈科优秀青年学者奖，历年发表学术论文50余篇，申请国家发明专利8项，其中5项已获授权。