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ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XIX, PTS 1 AND 2 (2002): 761-772
Kewchan Shim,Myoungsoo Kim, Eungsok Lee,Chulseung Lee,Myunggoon Gil,Bongho Kim, J In, Tae Bong Yoon, Jaisoon Kim
Proceedings of SPIE (2002): 919-926
ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XVIII, PTS 1 AND 2 (2001): 737-750
PROCEEDINGS OF THE SOCIETY OF PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS (SPIE) (2000): 441-448
Myoungsoo Kim,Jaehak Choi, Chi H Rho, Minjong Hong, Bumjin Jun,Myunggoon Gil,Bongho Kim, Dongjun Ahn, Matthew F Ross,Selmer S Wong
ADVANCES IN RESIST TECHNOLOGY AND PROCESSING XVII, PTS 1 AND 2 (2000): 782-792
OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XII, PTS 1 AND 2 (1999): 666-674
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