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Mohamed Chaker,S Boily,Y Diawara,M A El Khakani,E Gat,A Jean,H Lafontaine,H Pepin, J Voyer,J C Kieffer, A M Haghirigosnet, F R Ladan,
Mohamed Chaker,S Boily, A Ginovker,A Jean,Jeanclaude Kieffer,Patrick P Mercier,H Pepin, P Leung,J F Currie,H Lafontaine
ELECTRON-BEAM, X-RAY, AND ION-BEAM SUBMICROMETER LITHOGRAPHIES FOR MANUFACTURING (1991): 16-25
M Chaker,H Pepin, V Bareau,S Boily, B Lafontaine,Remy Fabbro,I Toubhans,Bernard Faral,J F Currie, Dawn H Nagel,Martin C Peckerar
Soft X-Ray Optics and Technology (1986)
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