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International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2022 (2022)
Laurens de Winter,Timur Tudorovskiy,Jan van Schoot,Kars Troost, Erwin Stinstra,Stephen Hsu, Toralf Gruner,Juergen Mueller, Ruediger Mack,Bartosz Bilski,Joerg Zimmermann,Paul Graeupner
JOURNAL OF MICRO-NANOPATTERNING MATERIALS AND METROLOGY-JM3no. 2 (2022)
International Conference on Extreme Ultraviolet Lithography 2021 (2021)
Laurens de Winter,Timur Tudorovskiy,Jan van Schoot,Kars Zeger Troost, Erwin Stinstra,Stephen Hsu, Toralf Gruner,Juergen Mueller, Ruediger Mack,Bartosz Bilski,Joerg Zimmermann,Paul Graeupner
Extreme Ultraviolet Lithography 2020 (2020): 91-114
35TH EUROPEAN MASK AND LITHOGRAPHY CONFERENCE (EMLC 2019) (2019)
33RD EUROPEAN MASK AND LITHOGRAPHY CONFERENCE (2017)
Mark van de Kerkhof,Hans Jasper, Leon Martin Levasier,Rudy Peeters,Roderik van Es, Jan-Willem Bosker, Alexander Nikolov Zdravkov, Egbert Lenderink, Fabrizio Evangelista,Par Broman,Bartosz Bilski
作者统计
#Papers: 7
#Citation: 99
H-Index: 4
G-Index: 7
Sociability: 4
Diversity: 0
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合作机构
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