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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Bno. 6 (1997): 2448-2451
Gary N Taylor,Richard S Hutton,Susan M Stein, Craig H Boyce,O R Wood,Bruno Lafontaine,Alastair A Macdowell,David R Wheeler,Glenn D Kubiak,A K Raychaudhuri,K Berger,Daniel A Tichenor
ELECTRON-BEAM, X-RAY, EUV, AND ION-BEAM SUBMICROMETER LITHOGRAPHIES FOR MANUFACTURING V (1995): 308-330
Gary N. Taylor, Richard S. Hutton,Susan M. Stein, Craig H. Boyce,Bruno LaFontaine,Alastair MacDowell,David R. Wheeler
Extreme Ultraviolet Lithography (1994)
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