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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY Bno. 1 (2023)
Jacqueline van Veldhoven, Aneta S. Stodólna,Arnold Storm, Jeroen van den Brink,Niels Geerits, Jasper Vlaar, Michael Dekker,Andrey Ushakov
Jetske Stortelder, Robert P. Ebeling,Corne Rijnsent, Michel van Putten, Veronique de Rooij-Lohmann, Maximilian Smit,Arnold J. Storm, Norbert Koster,Henk A. Lensen,Vicky Philipsen, Karl Opsomer,Devesh Thakare,
INTERNATIONAL CONFERENCE ON EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY 2021 (2021): 103-114
Proceedings of SPIE (2019)
Herman Bekman, Michael Dekker,Rob Ebeling,Jochem Janssen,Norbert Koster, Joop Meijlink,Freek Molkenboer, Kyri Nicolai,Michel Van Putten,Corne Rijnsent,Arnold Storm,Jetske Stortelder,
INTERNATIONAL CONFERENCE ON EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY 2019 (2019)
Chien-Ching Wu,Edwin te Sligte, Herman Bekman,Arnold J. Storm,Michel van Putten, Maurice P. M. A. Limpens,Jacqueline van Veldhoven,Alex Deutz
Proceedings of SPIE (2018)
mag(2013)
引用27浏览0引用
27
0
MICROELECTRONIC ENGINEERINGno. 1 (2013): 60-65
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