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ED2000-136 / SDM2000-118 / ICD2000-72 低誘電率膜を用いたCuデュアルダマシン配線の形成技術
育弘 山村,利昭 長谷川, 浩一 池田, 和彦 徳永, 正永 深沢, 英至 鬼頭, 幸児 宮田, 尚紀 駒井, 充 田口, 信介 平野, 徹也 辰巳,新吾 門村
siam international conference on data mining（2000）
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